回收氖气，节约成本
回收氖气，节约成本
氖气回收技术是在半导体制造过程中实现氖气回收的一种技术。该技术对于降低采
购成本、供应链风险和环境影响具有重要意义。三星电子和SK海力士，韩国半导体
企业，在氖气回收方面取得了显著进展。
购成本、供应链风险和环境影响具有重要意义。三星电子和SK海力士，韩国半导体
企业，在氖气回收方面取得了显著进展。
SK海力士与特种气体制造商TEMC合作开发的氖气回收技术，可以在光刻技术完成
后有效收集环境中的氖气回收技术，经过专业净化后再次供应给SK海力士。现在，
回收装置的整体回收率已经达到了72.7%，并且计划进一步提高到77%。该技术预
计每年为SK海力士节省约400亿韩元的采购成本，减少当量碳排放约12000吨二氧
化碳。在2025年，三星电子还计划将氖气回收技术整合到其制造过程中，并在大规
模芯片生产中成功采用氖气回收技术。该技术的应用有望满足三星光刻过程中约
75%的氖气需求，从而大大减少对进口氖气的依赖。氖气回收技术的发展不仅展示了
半导体企业在技术创新和资源回收方面的领先地位，也为整个电子产业的可持续发展
树立了积极的榜样。伴随着这项技术的进一步推广和应用，预计将有更多的企业加入
资源回收行列，共同推动全球经济的可持续发展。
后有效收集环境中的氖气回收技术，经过专业净化后再次供应给SK海力士。现在，
回收装置的整体回收率已经达到了72.7%，并且计划进一步提高到77%。该技术预
计每年为SK海力士节省约400亿韩元的采购成本，减少当量碳排放约12000吨二氧
化碳。在2025年，三星电子还计划将氖气回收技术整合到其制造过程中，并在大规
模芯片生产中成功采用氖气回收技术。该技术的应用有望满足三星光刻过程中约
75%的氖气需求，从而大大减少对进口氖气的依赖。氖气回收技术的发展不仅展示了
半导体企业在技术创新和资源回收方面的领先地位，也为整个电子产业的可持续发展
树立了积极的榜样。伴随着这项技术的进一步推广和应用，预计将有更多的企业加入
资源回收行列，共同推动全球经济的可持续发展。
氖气回收技术对半导体产业的可持续性有何贡献？
氖气回收技术对半导体产业可持续性的贡献主要体现在以下几个方面：
减少资源消耗和环境影响:通过回收技术，企业可以从生产过程中的废气中收集氖气，
既减少了对新型氖气资源的需求，又有助于减少工业生产对环境的影响。
既减少了对新型氖气资源的需求，又有助于减少工业生产对环境的影响。
降低生产成本：氖气是半导体生产的重要原料，尤其是在光刻过程中。半导体制造商
的成本可能会受到氖气价格波动的极大影响。回收技术能稳定氖气的供应，降低对外
部市场价格波动的敏感度，从而降低生产成本。
的成本可能会受到氖气价格波动的极大影响。回收技术能稳定氖气的供应，降低对外
部市场价格波动的敏感度，从而降低生产成本。
提高供应链的韧性:氖气的供应在很大程度上取决于少数供应商，这使得半导体行业面
临供应中断的风险。通过回收技术，企业可以减少对外部氖气供应的依赖，提高供应
链的稳定性和韧性。
临供应中断的风险。通过回收技术，企业可以减少对外部氖气供应的依赖，提高供应
链的稳定性和韧性。
促进技术创新和产业可持续发展:氖气回收技术的应用，展示了半导体产业在资源回收
和环保方面的努力，有助于促进整个产业向更可持续的生产模式转型。
和环保方面的努力，有助于促进整个产业向更可持续的生产模式转型。
综上所述，三星电子和sk海力士开发的氖气回收技术不仅对公司自身的成本控制和供应
链管理具有重要意义，而且对整个半导体行业的可持续发展也有积极贡献。
链管理具有重要意义，而且对整个半导体行业的可持续发展也有积极贡献。
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