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特种气体照亮电子工业发展之路


特种气体照亮电子工业发展之路

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特殊气体主要包括高纯度气体、电子气体和标准气体。电子特殊气体(以下简称电子
特殊气体)是特殊气体的重要分支,也是超大型集成电路(IC)、平面显示器件
(LCD、LED、OLED)、太阳能电池是电子工业生产中不可缺少的原材料。
气体通常分为常用气体和特殊气体,在半导体生产行业。在这些气体中,常用气体是
指集中供应和使用大量气体。 N2、H2、O2、Ar、He 等。特殊气体是指在半导体生
产过程中使用的一些化学气体,如延伸、离子注射、掺合、洗涤和掩膜,即高纯度等
气体类别中的电子气体。 SiH4、PH3、AsH3、B2H6、 N2O、NH3、SF6、NF3、
CF4、BCl3、BF3、HCl、Cl2等,在 IC 使用的电子气体在生产过程中几乎相同。
100 核心工段种类繁多,核心工段常见 30 种左右。正是这些气体通过不同的工艺
使硅片具有半导体性能,这决定了集成电路的性能、集成度和成品率。即使特定杂质
超标,也会造成严重的质量缺陷,严重的不合格气体扩散,造成整个生产线的污染,
甚至完全瘫痪。所以,电子气体是制造过程中的基本关键材料,是电子工业的“血液”。
武汉纽瑞德特种气体有限公司致力于为市场提供优质特种气体、稀有气体、高纯气体
有机气体、专业定制混合气体标准气体,主要产品为电子气体,如六氟化硫、四氟
化碳、高纯氨气笑气、四氯化硅、六氟乙烷、三氟化氮、氯气、氯化氢、三氟甲烷
硅烷等。,具有很强的竞争力。欢迎用户了解纽瑞德,选择纽瑞德,实现“双赢合作”。
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