电子级硅烷气在显示面板行业的重要性
电子级硅烷气在显示面板行业的重要性电子级硅烷气主要用于半导体行业、显示面板行业、光伏行业、负极材料等。
电子级硅烷气(electronic grade silane)是一种无色、极活泼的压缩气体,在空气中
自燃。它的应用非常广泛,特别是在半导体行业中,电子级硅烷气扮演着至关重要的
角色。在半导体行业中,电子级硅烷气主要用于外延沉积晶硅膜和生产多晶硅膜、一
氧化硅膜以及氮化硅膜。此外,它还用于制作高纯多晶硅、通过气相沉积制作二氧化
硅薄膜、氮化硅薄膜、多晶硅隔离层、多晶硅欧姆接触层和异质或同质硅外延生长原
料、以及离子注入源和激光介质等。在光伏产业中,电子级硅烷气作用于光伏电池片
生产减反射膜使用,对光伏电池片的光吸收效率和电性能有重大影响。在显示面板行
业和负极材料等领域,电子级硅烷气也发挥着重要作用。
电子级硅烷气的纯度通常在6N(99.9999%)以上,具有纯度高、无污染、对设备没
有腐蚀、能实现精细控制等优点,成为其他硅源气体无法取代的重要特种气体。它不
仅用于特大规模或超大规模集成电路、芯片等电子行业,还用于液晶显示器行业、薄
膜太阳能电池行业、半导体LED灯照明行业以及低辐射(Low-E)镀膜玻璃等领域。
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