随着我国半导体、光电技术的飞速发展，研发提纯净化水平高、耐高压、使用方便、投资少、易推广的对N2、H2、He、Ar、O2、NO气体配制用高压提纯技术及装置尤为重要。今天纽小编就为大家简单介绍几种高纯气体的提纯技术！

氮气提纯技术

采用高效的脱氧催化剂，利用脱氧催化剂的氧化还原特点，脱除N2中的痕量O2，脱氧在室温下进行，催化剂失活后通氢还原，还原温度为350-450℃，其特点是有一定的水蒸汽排出。然后用大量的N2吹洗或抽空与通氮相结合的方式将H2吹净。经过高压脱氧器脱氧，产品瓶的氧含量可小于0.3PPM(V/V)，该净化器的特点耐高压，非常适于气体的配制，脱氧效果明显，脱氧容量大，催化剂使用寿命长，实验室所用此技术已有多年，已逐步向大规模氮提纯方面推广，效果较好。

氧气脱烃提纯技术

现代空分设备，空分压缩机入口处空气中的碳氢化合物即总“烃”是必须进行在线监控的，这主要是为了安全的需要，同时，产品气O2(包括液O2)也需要测定其中的碳氢化合物（C1--C4），在测定这些组分的时候，为了消除主组分的影响，减少气体分析误差，经常使用O2为底的标准气 体 ，典型的数据 ：1.3-BD25ppm—CH425ppm—C2H65ppm—C2H22ppm—C2H45ppm—C3H810ppm—C3H610ppm—iC4H1225ppm—nC4H1225ppm—O2在配制这类气体时，一般首选高纯O2为原料配制此气。目前，国内高纯氧相对较少，价格较贵，运输比较麻烦，有的所谓“高纯O2”部分发现质量也较差，而医用氧可以方便的买到，而价格极为便宜，为了降低生产成本，提高市场竞争力，采用独到的简单方法，配制高难度的标准气体，在目前标准气体价格急剧下滑的市场大背景，显得尤为重要，从某种意义说也是竞争的制胜法宝。医用氧中的甲烷含量极不稳定，在对大连某外资企业生产的医用O2进行分析发现，甲烷含量在几十至几百PPM范围，有时甚至达到上千，通过采用催化氧化的办法可有效的将氧、空气中的烃类杂质及氢降到0.5PPM以下，提纯温度高达550℃，提纯效果极为明显，配气的原料成本不超过20元，显然经济效益明显。空分厂经常需要无烃“零点”气，同样可采取此种方法生产。因为催化反应器在高温、高压下操作，所以在设计、操作时应高度注意。

一氧化氮提纯技术

高纯NO气体中主要杂质为N2O、NO2、CO2 、N2及硫化物，在配制医疗用标气时，通常NO浓度为800 ppm左右)，NO2是重点控制的杂质指标，否则，将酿成严重的医疗事故，国内曾发生NO标准气体中NO2超标，导致病人呼吸中毒险些致命的事故，NO标准气体中NO2超标的原因有二：

一、高纯NO气体中杂质NO2本身就超标，纯气NO 中NO2的检测多采用化学法，检测比较麻烦，国内许多NO厂是不具备条件，这样NO 中NO2的含量就失去控制的，而在NO合成时NO2是极易超标的。

二、配制标准气体配制时所用底气不纯，含氧量高，或气瓶、系统臵换不彻底甚至漏气，而NO极易同O2反应，生成NO2（NO+O2-----NO2）。

解决方式：

一、采用NO提纯装置将所用的原料NO进行在线提纯。

二、对平衡气体N2采用高压脱氧净化。

通过以上方式，可有效的保证医疗用NO标准气体的质量，通过新旧方法对比，标准气体的质量明显进步。