为何电子特气生产技术门槛极高？
为何电子特气生产技术门槛极高？
电子特气的“特”，就特在纯净度要求非常高，纯度是指主要成分
含量越高越好，洁净度是指杂质残留量越低越好。90纳米工艺的
纯度要求在5到6N之间，这里的N指的是纯度百分比中9的数量。
同时，杂质要求低于10的负9次方，即10亿分之一。28纳米甚至
7纳米和5纳米工艺对电子特殊气体的纯度要求更高，金属元素要
净化到万亿分之一，相当于20个标准游泳池的水中杂质量不能超
过1滴水的量。为什么这种极其严格的纯度？
如此严格的要求导致电子特气生产技术的门槛很高，需要长期的
积累和研发投入。与此同时，生产过程中使用了大量的精密仪器
设备，这是第一个难点。二是资质壁垒，电子特气质量对电气产
品性能影响较大，一旦出现质量问题，下游客户将遭受巨大损失。
为了保持气体供应的稳定性，客户在与气体供应商建立合作关系
后，不会轻易更换气体供应商。如果他们想进入，他们必须经过
严格的审查和认证。这个周期一般持续2到3年。由于发达国家电
子信息产业起步较早，在技术、资金、人才等方面具有先发优势
，中国不得不长期依赖进口，超过85%的市场份额被美国、法国
、德国、日本等国家的企业垄断，尤其是超高纯特气，几乎完全
依赖进口，卖不卖，卖多少都要看他们自己的决定。因此，我国
必须尽快开发出国产化的关键电子特气技术，化解“卡脖子”的风
险，牢牢把握国民经济的安全命脉。从技术角度来看，中国电子
气体行业需要在以下几个方面有所突破:一是净化材料、气体终端
净化器的核心材料，如催化剂、吸附剂、膜材料等。；二是新产
品、新技术、电子特气更新快，新产品的研发和混合技术跟不上
国外的研发速度。目前国内三氟化氮、六氟化硫等电子特气产品
已逐步淘汰；第三，在设备方面，与高纯气体接触的设备必须符
合清洁标准，否则释放的微量杂质会污染电子气体，生产所需的
容器、管道阀门等。近年来，经过多年的自主研发，中国一些企
业已经量产了一些电子特种气体产品，并通过了国际龙头企业的
认证。未来，更多的产品将陆续进入全球半导体供应链体系。
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