特种气体在显示屏制造中的重要性
特种气体在显示屏制造中的重要性
有源矩阵薄膜晶体管显示屏（TFT），自20世纪90年代以来，它一直是我们生活中不
可或缺的一部分。它在我们的生活中随处可见。我们每天都离不开手机和电视，路上
的广告和标志。
显示屏的制造与半导体设备的制造有许多相似之处。不仅生产过程步骤非常相似，而
且在制造过程中需要使用大量的气体，使用的气体类型大多相同。
显示屏生产中使用的气体主要分为电子特种气体和电子大宗气体两类。电子特种气体
主要是指硅烷、六氟化硫、三氟化氮、氨和磷化氢的混合物，占制造气体的52%；电
子大宗气体是指氦气、氮气、氧气、氢气、二氧化碳和氩气，占制造使用气体的48%。
硅烷：SiH4是显示屏制造中最关键的气体之一，与氨（NH3）结合，形成A-Si晶体管
氮化硅层，与氮（N2）结合，形成LTPS晶体管预分子激光退火a-Si，或氧化亚氮
(N2O）结合使用形成MO晶体管的氧化硅层。
三氟化氮:从A-Si和LTPS显示屏生产的消耗和使用来看，NF3是A-Si和LTPS显示屏生
产中使用最多的单一电子材料，而在MO生产中使用的不如N2O。NF3用于清洁PECVD
腔室。对于这种气体，需要可扩展性，才能在竞争激烈的市场中建立所需的成本优势。
氧化亚氮:LTPS和MO显示屏都用于生产。从MO生产的消耗和使用来看，N2O已经超
过NF3，成为MO生产中最常用的电子材料。N2O是一种区域性、本地化的产品，由
于成本低，无法使用物流成本高的长供应链。平均每5.5平方米的素玻璃重约2公斤，
每月生产120K的8.5通常需要240吨N2O MO显示屏。最大的N2O压缩气体拖车每次
只能提供6吨N2O，对于MO生产来说，这种做法成本高，风险大。
氮气：一般大型显示厂氮气需求可高达5万 Nm3/小时，因此现场发生器是一种具有
成本效益的解决方案。与传统氮气厂相比，显示屏制造中的二氧化碳排放量减少了8％。
氦：氦用于过程中和过程后的冷却玻璃。由于氦是一种不可再生气体，由于其成本和
可用性，制造商正在研究减少氦的使用。武汉纽瑞德贸易有限公司成立于2007年，主
要经营特种气体、稀有气体、高纯气体、有机气体、专<span lantinghei="" sc",="" "open="" sans",="" arial,="" "hiragino="" sans="" gb",="" "microsoft="" yahei",="" stheiti,="" "wenquanyi="" micro="" hei",="" simsun,="" sans-serif;="" font-size:="" 13px;="" "="" style="font-size:18px; font-family: arial, helvetica, clean, sans-serif; word-spacing: -1.5px; color: rgb(102, 102, 102);">业为各行业定制混合气体和标
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