标准气体：7种常用二元、三元标气气体
常用二元、三元标准气体
序号 | 组分 | 常用浓度范围 | 平衡气 |
1 | O2 | 3μmol/mol-百分比含量 | N2、Ar、He |
2 | CO | 0.5μmol/mol-百分比含量 | N2、Ar、He、H2 |
3 | CO2 | 0.5μmol/mol-百分比含量 | N2、Ar、He、H2 |
4 | CH4 | 0.5μmol/mol-百分比含量 | N2、Ar、He、H2 |
5 | H2 | 2μmol/mol-百分比含量 | N2、Ar、He |
6 | N2 | 5μmol/mol-百分比含量 | Ar、He、H2 |
7 | SF6 | 1μmol/mol-百分比含量 | N2、Ar、He、H2 |
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