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电子特气产品:纽瑞德特种气体


由于现在科技的发展和技术的提升,关于一些高精尖技术的制造材料也越来越被大家所熟知,在像芯片制造行业中,就需要一些更为尖端的材料,例如高纯硅烷高纯氨、高纯笑气氖气等电子特气就是作为半导体电子行业应用的一种特种气体,向来被称之为电子行业的“血液“,它被广泛运用于半导体各种制造工艺过程当中。


电子特气对气体质量要求非常高,我国一直以来大多还是依靠进口,目前我国部分产品已获得突破,高纯硅烷、高纯氨、高纯笑气、氖气、高纯CL2、高纯砷烷和高纯锗烷等均获得突破。但是国内电子特气行业还有一些难以突破的技术壁垒。

一是深度提纯技术难度较大。以硅烷为例,将其纯度由4N提纯到6N中间有漫长的道路,除了要解决普通气态杂质的纯化问题,还要将金属元素净化到10-9级至10-12级。二是包装和储运跟不上。超高纯气体的生产和应用都要求使用高质量的气体包装储运容器、相应的气体输送管线、阀门和接口,以避免二次污染的发生。三是分析检验观念落后。国内对电子气体生产应用领域分析检测技术研究开发尚不够重视。  

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