氨气、硅烷及笑气在电子行业的重要性
氨气、硅烷及笑气在电子行业的重要性
电子气体多为集中供应，可分为氮气、氢气、氩气、氦气、氧气、二氧化碳等大宗气
体；电子特种气体包括笑气、氨气、硅烷、四氟化碳、六氟化硫、氯化氢、四氟环丁
烷、甲烷等气体。
电子气体是电子工业生产中不可缺少的原材料，如超大型集成电路、平面显示器件、
化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等。广泛应用于薄膜、蚀刻、掺杂、气相沉积
、扩散等工艺。随着我国超大型集成电路、平板电脑、光伏发电等行业的快速发展，
电子气体市场需求显著增加。
一、什么是电子气体？
1、电子气体的含义：气体工业术语，半导体工业用气体统称为电子气体。
2、电子气体分类：根据其类别，可分为纯气体、高纯气体和半导体特殊材料气体。
特殊材料气体主要用于外延、掺杂和蚀刻过程；高纯气体主要用于稀释气体和载体
气体。电子气体是特殊气体的重要分支。电子气体根据纯度等级和使用场合可分为
电子等级，LSI(大型集成电路)级，VLSI(超大型集成电路)级和ULSI级(超大型集成
电路)级。
二、列举电子气体的应用
1、电子气体系统技术的应用
在目前工艺先进的超大型集成电路厂的晶圆片制造过程中，所有的工艺步骤都超过了
通道，使用了大约不同种类的电子气体。电子气体输送系统是指在充分保证工艺和产
品安全使用的前提下，稳定地将电子气体从气源输送到工艺生产设备的气点，无二次
污染，控制工艺所需的流量和压力。根据气体的性质和供应包装的不同。
2、氨在电子工业中的应用
氨是一种由氮和氢组成的化合物。它是一种具有特殊刺鼻气味的无色水溶性气体。大
多数氨是用来生产肥料的，也是几乎所有含氮化合物的前身。高纯度特殊气体在LED
生产中起着至关重要的作用。超纯氨是用来确保生产最高质量的LED元件。这是因为
氧气含有水蒸气分子，即使是微量的，也能大大降低光能输出。
3、硅烷的应用
硅烷、硅和氢化合物易于自燃和爆炸，是一种高风险气体。目前广泛应用于微电子和
光电子行业，用于制造太阳能电池、平板显示器、玻璃和钢涂料。此外，还用于制造
先进陶瓷、复合材料、功能材料、生物材料、高能材料等高科技应用。
4、笑气在电子行业的应用
笑气，即一氧化二氮和无色甜气，是一种氧化剂，广泛应用于电子工业和食品饮料，
甚至在一些电子产品的开发中发挥着至关重要的作用。为了实现电视、手机和电脑显
示屏的更高分辨率和帧速率，笑气在下一代超高清3DTFT-LCD低成本开发（薄膜晶体
管液晶）显示屏和OLED（发光二极管）显示屏中非常重要。
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