硅烷在电子工业中的应用
硅烷在电子工业中的应用
烷是硅和氢的化合物，是一系列化合物的总称，包括甲硅烷。( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6)
通常的类型是SinH2n+2，与一些更先进的硅氢化合物相比。在这些硅烷中，甲硅烷是最
常见的，有时也被称为硅烷。
通常的类型是SinH2n+2，与一些更先进的硅氢化合物相比。在这些硅烷中，甲硅烷是最
常见的，有时也被称为硅烷。
硅烷在1857年被发现，在未来100年左右的工业生产中几乎没有用处。直到20世纪50年
代，半导体技术的发展才开始应用于电子工业生产。20世纪80年代，随着半导体工业的
快速发展，硅烷的消耗迅速增加。1984年，国际硅烷市场销售额为70t，1986年增至110t，
年增长12%～15%的速度增长。1990年全球硅烷销量为240t。硅烷在我国的应用起步较
晚，目前年消耗量约为几十吨。
代，半导体技术的发展才开始应用于电子工业生产。20世纪80年代，随着半导体工业的
快速发展，硅烷的消耗迅速增加。1984年，国际硅烷市场销售额为70t，1986年增至110t，
年增长12%～15%的速度增长。1990年全球硅烷销量为240t。硅烷在我国的应用起步较
晚，目前年消耗量约为几十吨。
随着一系列新技术和新产品的发展和应用，硅烷已经成为信息、新材料、能源和环境科学
的基本原材料，是未来许多行业不可或缺的。它在现代科学和现代工业中的地位非常重要。
的基本原材料，是未来许多行业不可或缺的。它在现代科学和现代工业中的地位非常重要。
1.电子工业被用作氮化硅和外延材料的混合源。半导体超纯硅原料是半导体工业中化学气
相沉积工艺的硅源，如单晶硅、多晶硅外延片、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃等。广泛应
用于太阳能电池、硅复印鼓、光电传感器、光纤和特殊玻璃的生产和开发。
相沉积工艺的硅源，如单晶硅、多晶硅外延片、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃等。广泛应
用于太阳能电池、硅复印鼓、光电传感器、光纤和特殊玻璃的生产和开发。
2. 用于电子工业中多晶硅和单晶硅的外延积累，二氧化硅的低温化学气相沉积，非晶硅膜
的积累。
的积累。
武汉纽瑞德特种气体有限公司是一家专业的气体公司，主要从事电子特种气体的生产和销
售。公司生产的硅烷得到了业界的广泛认可，生产达到了国内先进水平。武汉纽瑞德依托
技术实力，不断开发优质产品，满足客户需求。中国特种气体一站式供应商可提供超纯电
子气体，品类齐全，库存大，现货供应，远销福建、上海、重庆、杭州等地。武汉纽瑞德
在市场经济环境下，不断进取务实，抓住机遇，实施创新发展。请致电400-6277-838。
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