电子级气体污染控制要求日趋严格，您了解吗？
电子级气体污染控制要求日趋严格，您了解吗？
随着消费电子产品的升级，产品的制造规模越来越大，产品成
品率和故障控制越来越严格。整个电子工业对电子气源的纯度
和消除传输系统中的二次污染的要求越来越严格。
品率和故障控制越来越严格。整个电子工业对电子气源的纯度
和消除传输系统中的二次污染的要求越来越严格。
原则上，行业提出的电子气体污染和颗粒尺寸的技术指标与分
析设备技术进步导致的检测限（LDL）直接相关。例如，传统
的激光颗粒测试仪可以测量0.1μm，而核心凝固技术（CNC）
可以达到0.01μm。
析设备技术进步导致的检测限（LDL）直接相关。例如，传统
的激光颗粒测试仪可以测量0.1μm，而核心凝固技术（CNC）
可以达到0.01μm。
目前，12英寸超大规模集成电路生产线的宽度已发展到45nm
。散装气体的纯度必须在ppt水平，粒度控制直接参考CNC分
析仪的下限。实验室的超亮LED技术指标已超过200Lm/w（
流明/瓦），氢气和氨气的纯度控制要求低于1 ppb（十亿分
之一）。氨是通过多级蒸馏生产的，技术指标达到7N（七个
9）的“白氨”，5N的氢必须通过先进的钯膜清洁器净化至9N。
。散装气体的纯度必须在ppt水平，粒度控制直接参考CNC分
析仪的下限。实验室的超亮LED技术指标已超过200Lm/w（
流明/瓦），氢气和氨气的纯度控制要求低于1 ppb（十亿分
之一）。氨是通过多级蒸馏生产的，技术指标达到7N（七个
9）的“白氨”，5N的氢必须通过先进的钯膜清洁器净化至9N。
散装特殊气体系统（BSGS）的及时应用有助于改善污染控
制。首先，大型包装容器确保了电子气体质量的连续性，并
减少了多次灌装污染的风险。此外，瓶子更换频率的降低也
降低了污染的可能性。BSGS通常采用深度冲洗，提高了冲
洗效果。
制。首先，大型包装容器确保了电子气体质量的连续性，并
减少了多次灌装污染的风险。此外，瓶子更换频率的降低也
降低了污染的可能性。BSGS通常采用深度冲洗，提高了冲
洗效果。
316L不锈钢电抛光（EP）管、高纯度压力控制阀、隔膜阀
和高精度过滤器（＜0.003）广泛用于输送管道系统μm VCR
堵头等。与气体接触的管道部件的表面粗糙度可控制在5uin，
并采用零死区设计。施工工艺采用全自动轨道焊接，制定并
实施严格的超高纯度设计和QA/QC保证程序。
和高精度过滤器（＜0.003）广泛用于输送管道系统μm VCR
堵头等。与气体接触的管道部件的表面粗糙度可控制在5uin，
并采用零死区设计。施工工艺采用全自动轨道焊接，制定并
实施严格的超高纯度设计和QA/QC保证程序。
电子气体传输系统完成后，必须进行严格的压力保持、氦气
泄漏检测、粒度和湿度、氧气含量和其他气相杂质测试。
泄漏检测、粒度和湿度、氧气含量和其他气相杂质测试。
24小时 贴心服务：如果您对以上纽瑞德气体感兴趣或有疑问，请点击和我联系网页右侧的在线客服，或致电：400-6277-838，纽瑞德气体——您全程贴心的采购顾问。
- 上一篇:液态氩气应用范围及注...
- 下一篇:关于氩气的使用说明
