高纯气体输送用的阀门与管线

高纯度气体输送管道系统的质量直接影响高纯度气体的纯度、清洁度和干燥度。因此，严格控制高纯度气体输送系统的设计、材料选择、加工、清洗处理、安装和使用等各个环节至关重要。

1材料表面处理

未经处理的材料表面粘结有氧化皮、油渍、灰尘、金属碎片和其他杂质。当在高纯度气体管道系统中使用未经处理或未完全处理的材料时，气流摩擦、温度和压力的变化会影响材料表面的空气出口，这不可避免地会导致气体质量恶化、清洁管道污染，甚至部件损坏和报废。众所周知，金属材料和气体分子表面存在吸附和解吸现象。当设置气体的压力、温度和其他条件时，吸附和解吸仅取决于材料的实际表面尺寸和处理条件（抛光、清洁等），因此，高纯度气体输送装置的表面处理有两个主要目的：，即去除材料表面上的有害杂质并实现高质量的表面处理。清洁工作的一般顺序是机器车间清洁、酸洗、除垢和脱脂。在国外，三氯乙烯经常被添加到封闭的塑料容器中，最终通过超声波清洗对成品管道阀门进行清洗，以确保电子高纯度气体管道阀门的特殊清洁度要求。

2.材料选择

实践证明，不锈钢是高纯度输气管道的理想材料，其对杂质和水的活性比其他材料弱，且耐腐蚀性、机械加工和综合经济性更好。对于真空泵系统，不锈钢的排气率也很低，只有铜的十分之一，橡胶树脂的千分之一。由于所有气体都对有机聚合物具有高渗透性，因此绝对不能使用非金属管道、密封密封件、减压阀和带有高纯度气体管道中非金属膜的隔膜阀。否则，系统内外的气体相互渗透会降低气体质量。在实际应用中，材料的选择必须考虑所用介质的类型和操作条件（温度、压力、环境）。

此外，不锈钢材料不适用于任何浓度的盐酸。必须选择无缝管道。管道的内外表面质量、外径公差和圆度必须符合设计要求。表面划痕和任何不太明显的内外表面缺陷都是造成腐蚀不均匀的应力源，从而降低了管道在负载和活性介质变化作用下的耐腐蚀疲劳性。在转弯和运输过程中，不得将管道拉到地板或硬物上，以免划伤管道表面。除了考虑系统的压力和流量外，在选择管道外径和壁厚时，还应注意通过套圈连接的管道的相应壁厚。如果管壁太薄，卡环会压碎管道；如果管壁太厚，卡环不能使管道适当变形，也不能起到密封作用。

3.必须注意管道不受张力

无论这种结构采用何种连接方式，都很难确保管道两端的密封面同时完全接触，如果温度变化，密封面会移动和变化。

4.弯头必须冷加工

应使用台式安装机，不允许重复弯曲。不得使用弯头处有压扁、弯曲和折痕的管子。

5.锯切或切割管道

为确保管道切口与管壁垂直，最好使用专用工具去除管道切口内外的毛刺。确保没有灰尘进入管道，并使用清洁空气或氨气将其吹走。由于车削实践表明，此时大多数金属碎片都留在管道中，因此不能锯掉直径较小（小于3ram）的管道，可以使用三角锉或锋利锉将外径均匀的管道缠绕起来，绕凹槽一圈，然后分开以避免脊堵塞了内孔。

6.安装阀门时，注意阀体上的流向

标志的安装应确保当工作系统有压力时，压力端始终连接到阀头下方的空腔，而不是阀头上方的包装或薄膜。当阀门关闭时，这种连接方式可以确保工作系统出现外部阀门的可能性最小。阀门必须安装在显眼且易于使用的位置。不要让操作员的手用非常冷或热的物体操作阀门。不得将阀门与手轮倒置安装，以防止系统中可能的污染物积聚在阀室内并损坏阀门。

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