半导体用气的性质及其使用的注意事项

在半导体制造过程中，使用哪些气体?这些气体有哪些性质?使用这些气体时要注意哪些方面?本文将对这些问题进行简要说明。

一、气体的物理与化学性质

把常用的气体按其用途分类列于下表。它们的共同点是无色、透明，具有不愉快的味道；除一、两种外，比重都比空气大，且随温度上升而分解。

对人体的毒性

从上面可以看出，这些气体对人体有害。它们不仅在化学上不稳定，还会影响人体血液、神经或内脏。因此，处理这些气体更加困难。有些气体的允许浓度很低，根据吸入量，有些气体会在很短的时间内危及生命。

如果发生气体泄漏或吸入，必须根据气体类型进行适当处理。

3、使用注意事项

虽然气体的使用技术非常简单，但它包括各种内容。安全有效地处理这些有害气体也是一个重要问题。因此，以下主要介绍在各种情况下使用气体的注意事项。

1.一般事务

（1） 相关规定

① 《高压气体管理法》；② 剧毒物质管理法；③ 某些化学品的事故预防规则；④ 化学品核查条例法；⑤ 船上危险货物运输和储存规定。

（2） 容器、阀门、调节器等。

如果你使用气体，你需要容器、阀门、调节器等。具备基本知识。

① 容器：日本行业标准、品牌、内表面处理、容器阀门、检验；

② 阀门：类型、结构、材料、半导体气体的必要条件、故障排除；

③ 其他：管道、压力表。

（3） 清洁

① 连续清洗②中间清洗

（4） 安全管理

① 操作标准化：a.操作，其他；b、 设备和仪器的维护和检查。② 安全教育。③ 安全委员会和其他控制机构

（5） 气体泄漏检测方法

① 检查可能发生泄漏的地方②检查膨胀气体扩散模式和探测器设置点；③ 不同的检测方法。

2.储存过程中的注意事项

（1） 在指定地点，应分类放置并做好标识，防止倒置，任何人不得进入；

（2） 保持温度，防止阳光直射、雨水和灰尘。

（3） 储气罐内不得放置易燃、易爆或腐蚀性物质。

4） 进入储存现场时应采取预防措施。

（5） 确定进入加注容器时是否有空气泄漏。

3.运输过程中的注意事项

（1） 装载车辆时，注意标志，安装盖子，禁止撞击，禁止水平放置液化石油气容器，以确保维护空间和紧固件可用。

（2） 开车时，一定要遮住阳光。禁止开车、停车或突然转弯。禁止在繁忙的街道上行走。如果集装箱受到严重影响，他们应该自豪地检查气体泄漏并携带必要的物品。

3） 熟悉急救方法。

4.使用过程中的注意事项

（1） 在安装和使用容器之前，应标识清楚的标志，并记录必要的事实。

（2） 检查水、灰或异物是否附着在容器阀门安装开口上。

（3） 更换容器时，应清洁并检查其密封性。

（4） 确认容器内是否有气体。

（5） 使用过程中必须存在残余压力。

（6） 安装接头盖和保护盖。

（7） 定期检查漏气、压力表、安全阀等。

（8） 含有氢气或氢气背景气体的船舶应接地。

（9） 当容器在使用中时，不得填充规定以外的气体。

（10） 清除自燃气体。

（11） 防止管道、阀门和其他气体连接受到污染。

（12） 防止LPG系统的液体密封。

（13） 通风的安全处理。

5.应急处理

包括（1）中毒，（2）火灾，（3）泄漏处理。

如上所述，半导体中使用的许多气体在物理和化学方面都非常危险，而且对人体也有很强的毒性。

为了安全、正确和有效地使用这种气体，有必要在高水平上掌握关于各种气体性质的广泛知识和管理技术。最近，硅烷、磷化氢等正在发展。高浓度、高压力和高质量，这一趋势对管理技术的要求越来越严格。

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