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常见高纯气体的用途


一、高纯氧:


  • 高纯氧用于二氧化硅的化学气相沉积;作为氧化源与产生高纯水的反应剂;干法氧化;

  • 四氟化碳混合,用于等离子刻蚀。氧的主要用途源于它能维持生命和助燃性质;

  • 在冶金工业中有广泛应用。还可用于水质处理。所有的氧化反应和燃烧过程都需要氧,例如炼钢时除硫、磷等杂质,氧和乙炔混合气燃烧时温度高达3500℃,用于钢铁的焊接和切割。玻璃制造、水泥生产、矿物焙烧、烃类加工都需要氧。液氧还用作火箭燃料,它比其他燃料更便宜。



二、高纯氦


  • 用作氦气球、氦气飞艇的填充气体,以取代其有高度可燃性的氢气;

  • 与高纯二氧化碳高纯氮气一起用作二氧化碳激光切割机的激光气体;

  • 液氦用于核磁共振成像仪的超导磁体;

  • 跟医用氧气一起用于深海作业的呼吸气体;

  • 用作空调领域氦漏仪的检漏气体;

  • 高纯氩气一起用作特殊焊接的保护气体;

  • 用作气相色谱仪/气质联用仪等仪器的载气。



三、高纯氩:


高纯氩在半导体工业中用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体;可用作系统清洗、屏蔽和增压用的惰性气体;在化学气相沉积、溅射和退火等工艺中有所应用。高纯氩也可作为色谱载气。氩被广泛用来充填弧光灯、荧光灯和电子管;焊接保护气;在钛、钴和其他活性金属的生产中用作屏蔽气;在黑色冶金中用于吹炼特种钢。在金属冶炼方面,氧、氩吹炼是生产优质钢的重要措施,每炼1t钢的氩气消耗量为1~3m3。此外,对钛、锆、锗等特殊金属的冶炼,以及电子工业中也需要用氩作保护气。


四、高纯氢:


氢是主要的工业原料,也是最重要的工业气体和特种气体,在石油化工、电子工业、冶金工业、食品加工、浮法玻璃、精细有机合成、航空航天等方面有着广泛的应用。同时,氢也是一种理想的二次能源(二次能源是指必须由一种初级能源如太阳能、煤炭等来制取的能源)。在一般情况下,氢极易与氧结合。这种特性使其成为天然的还原剂使用于防止出现氧化的生产中。在玻璃制造的高温加工过程及电子微芯片的制造中,在氮气保护气中加入氢以去除残余的氧。在石化工业中,需加氢通过去硫和氢化裂解来提炼原油。氢的另一个重要的用途是对人造黄油、食用油、洗发精、润滑剂、家庭清洁剂及其它产品中的脂肪氢化。由于氢的高燃料性,航天工业使用液氢作为燃料。



纽瑞德气体知识展示图2


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