电子特种气体供需问题亟待通过回收再利用技术解决

面对半导体制造过程中特种气体使用量持续增大带来的温室气体排放问题和地缘政治问题引起的特殊气体供求问题，韩国专家专家提出了发展特种气体再利用技术的解决方案。

近年来，随着半导体及显示器产业的高速发展，特种气体的使用量和排放量急剧增加，因此抑制该领域温室气体排放已经成为当务之急。在半导体材料·特种气体研讨会上，韩国代表就“半导体气体Recycling技术和局限性”进行了专题研讨。他认为，由于各国之间的贸易争端，氦、氖、氪、氙等稀有气体的回收和再利用刻不容缓。目前半导体和显示器工艺使用的特殊气体处理方法主要有洗涤器(Scrubber)焚烧、气体替代、改进工艺等三类方案。然而，大多数都是洗涤器处理而不是回收再利用。

显示器行业在从LCD到OLED的技术转换过程中六氟化硫很难用三氟化氮代替，温室气体排放量继续增加、因此对工程排放气体处理仍有很多苦恼。大部分PFC（全氟化合物）材料都含有氟，对于这类特种气体的回收，需要进行分离和精制技术。目前，反应后的剩余材料很难回收再利用，所以主要是进行废弃处理，但缺点是费钱（增加公司运营成本）。用于清洗和蚀刻的气体如六氟化硫和四氟化碳是稳定的化合物，难以在洗涤器中去除，因不完全燃烧而释放到大气中的情况时有发生。全球气体公司和半导体公司试图回收高纯度含氟气体，但大多以失败告终。

韩国代表表示，是时候该考虑排放的特种气体回收再利用技术了。他说，“对于回收，我们需要通过结合各种分离技术的能源优化工艺设计来解决问题。这些工艺改进，虽然很难适用于所有情况，但特定工艺中的某些气体将是可重复使用的。”他还介绍了一种利用液氮冷却热分离纯化PFCs的新工艺，并解释说三氟化氮和四氟化碳通过固化分离很容易分离，回收的气体可以再利用。他认为，由于低温过程较弱，最终分离是可能的，因为在韩国实施这项技术已有先例。如果开发回收技术，在排放方面，分离并回收再利用，半导体和显示行业的竞争力将会通过降低成本加以增强。

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