激光混合气分类及用途
由于激光混合气中组分气的纯度直接影响激光性能,特别是气体中的氧、水、碳氢化合物等杂质的存在,将导致激光激光输出功率在镜面和电极上的耗损,还会引起激光发射的不稳定。所以需要气体的纯度和钢瓶的处理。钢瓶充装前必须要进行干燥处理,防止污染混合气。
如果将氦氖激光作为第一代气体激光,二氧化碳激光是第二代气体激光,在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光,可称为第三代激光。下图列出常见的氦氖激光混合气、二氧化碳混合气、氪氟激光混合气、密封束混合气和准分子激光混合气的组成和具体用途。
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