一般混合气体与电子混合气分类
随着我国工业技术的不断发展，我们对特种气体的需求量不断增加。特种气体有别于一般工业气体，它是具有特殊用途，并在特定领域中应用的，对纯度、杂质含量、组成、物化性能等方面有特殊要求的一类气体产品。与工业气体相比，特种气体的品种多而产销量小，常用的混合气和标准校正气即特种气体的重要组成部分。
常用气体又分为：一般混合气体与电子混合气体。
电子混合气体包括：外延混合气、化学气相淀积混合气、掺杂混合气、蚀刻混合气及其他电子混合气。
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