什么是超高纯氮气？
超高纯气体指纯度高于99.999%的气体,是一种高纯化学试剂。为适应一些科学研究和尖端技术的特殊需要而制备。一些对气体要求特别纯净的部门，需要超纯气体的纯度高达99.9999%以上,每升气体中粒度大于0.5μm的尘粒数应小于三个。
超纯气体品种用途：
约300多种。中国能生产单一超纯气体十多种，混合超纯气体几十种。除表中所列主要品种外，单一超纯气体还有二氧化硫、一氧化碳、二氧化碳、乙烯、正丁烷、砷烷、丙二烯、顺丁烯、丁二烯等。混合超纯气体为上述单一超纯气体的混合气，分别有专门的用途，如纯氩气-氮气混合气用于电光源中钨丝的还原,纯氩气-氖气混合气、氩报-氦气混合气用于霓虹灯充气等，还有不少超纯混合气体作为色谱、质谱和光谱分析中的标准气。
超纯气体的制备大多是从工业气体加以纯化，有吸附法、吸收法、薄膜扩散法、电解法、生化法、辐射法、光解法、低温精馏法、催化法等。例如超纯氢气、氮气、氦气、氩气，先通过空气分离提取较纯气体，再经低温吸附得到超纯气体；粗氩也可以从合成氨弛放气中提取；粗氪、氙从核裂变气中提取，再经纯化而得超纯气体。
超高纯氮气纯化方法主要有吸附法、变压吸附法、膜分离法等。在生产中，通常采用黑色钢瓶盛放氮气。
物理性质：
分子式： N2
性质：超高纯氮气纯度大于99.9999%。无色无臭无味无毒的惰性气体。相对密度ds(21.1℃，空气=1)0.967。气体密度1.153kg/m3(21.1℃，101.3kPa)；液体密度808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)。
相对分子质量 28.013
熔点 63.15K,-210℃,-346oF
沸点，28.013
临界温度 126.1K,-147.05℃,-232.69oF
临界压力 3.4MPa,33.94bar,33.5atm,492.26psia
临界体积 90.1cm3/mol
临界密度 0.3109g/cm3
临界压缩系数 0.292
偏心因子 0.040
液体刻密度 ,-180℃时 0.729g/cm3
液体热膨胀系数 ,-180℃时 0.00753 1/℃
表面张力 ,-210℃时 12.2×10-3 N/m,12.2dyn/cm
气体密度 ,101.325 kPa(atm)和70oF(21.1℃)时 1.160kg/m3 ,0.0724 lb/ft3
气体相对密度,101.325 kPa(1atm)和70oF时(空气=1) 0.967
汽化热 , 沸点下 202.76kJ/kg,87.19 BTU/1b
熔化热 , 熔点下 25.7kJ/kg,11.05 BTU/1b
气体定压比热容 cp ,25 ℃时 1.038kJ/(kg· k),0.248 BTU/(1b·R)
气体定容比热容 cp ,25 ℃时 0.741kJ/(kg· k),0.177 BTU/(1b·R)
气体比热容比 , cp/cv 1.401
液体比热容 ,-183℃时 2.13kJ/(kg·k ),0.509 BTU/(1b·R )
因体比热容 ,-223℃时 1.489kJ/(kg·k ),0.356 BTU/(1b·R )
气体摩尔熵 ,25℃时 191.5 J/(mol·k )
气体摩尔生成熵 ,25℃时 0 J/(mol·k )
气体摩尔生成焓 ,25℃时 0 KJ/mol
气体摩尔吉布斯生成能 ,25℃时 0 KJ/mol
溶解度参数 9.082 (J/cm3 )0.5
液体摩尔体积 34.677 cm3 /mol
在水中的溶解度 ,25℃时 17.28×10 -6(w)
气体黏度 ,25℃时 175.44×10 -7 Pa·s,175.44μP
液体黏度 ,-150℃时 0.038mPa ·s,0.038 cp
气体热导率 ,25℃ 时 0.02475 W/(m · K)
液体热导率 ,-150℃时 0.0646W/(m · K）[1]
用途：
在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气，化学气相淀积时的载气，液体扩散源的携带气，在高温扩散炉中用作器件的保护气。超高纯氮气在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中，作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中，液氢加注系统必须先用超高纯氮气置换，再用超高纯氮气置换。
消防应急措施与防护编辑：
迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器。不要直接接触泄漏物。尽可能切断泄漏源。防止气体在低凹处积聚，遇点火源着火爆炸。用排风机将漏出气送至空旷处。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。用雾状水保持火场中容器冷却。可用雾状水喷淋加速液氮蒸发，但不可使用水枪射至液氮。如吸入高纯氮，感到呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。
贮运编辑：
对于超纯气体，任何微小的污染都会严重影响气体的质量，因此气体贮存和运输过程中的洁净和高度密封性特别重要。超纯气体主要采用高压钢瓶或低温液化气体容器贮存和运输。高压钢瓶坚实耐用，运输和使用灵活，气体无损耗，但气体纯度稳定性较差；低温液化气体容器单位容积贮量很大，但有气体排放损耗。
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