六氟化硫气体绝缘设备的绝缘性能和灭弧性能与六氟化硫气体的质量有很大关系。六氟化硫在生产制造和设备运行中，会产生多种有毒的具有腐蚀性的气体和固体分解物，不仅影响到电气设备的性能，而且危及设备运行检修人员的安全。六氟化硫气体监督对六氟化硫气体绝缘设备的安全运行十分重要。
六氟化硫（SF6气体）监督的范围包括新气、运行气及设备检修中的气体监督，六氟化硫（SF6）气体监督应结合国家电网公司《高压开关设备技术监督工作规定》等有关设备技术监督工作规定进行。
从事六氟化硫气体监督检测人员必须持有行业颁发的相应岗位的资格证书。
六氟化硫新气监督
（1）在六氟化硫新气到货后应检查气瓶的漆色字样，安全附件，分析报告和无毒合格证。在新气到货的一个月内，应按照《六氟化硫气瓶及气体使用安全技术管理规则》和GB 8905《六氟化硫电气设备中气体管理和检测导则》中的有关规定，送有关检测机构进行抽样检验。
（2）验收合格后，应将气瓶转移到阴凉干燥的专门场所，直立存放。未经检验的新气不能同检验合格的气体存放一室，以免混淆。
（3）对国外进口的新气，亦应按新气质量标准验收。
（4）六氟化硫气体在储气瓶内存放半年以上时，充气于六氟化硫气室前，应复检其中的湿度和空气含量，指标应符合新气标准。
六氟化硫运行气体的质量监督
（1）使用中的六氟化硫气体，应按照DL/T 596《电力设备预防性试验规程》中的有关规定进行检验。有六氟化硫设备的单位应配备六氟化硫检漏仪和微水测试仪，并定期校验合格。
（2）SF6气体绝缘电力设备交接、大修时，应进行设备中SF6气体湿度测量试验和检漏试验，并校验SF6密度继电器和压力表 。
（3）运行中SF6气体绝缘电力设备，根据DL/T 596《电力设备预防性试验规程》进行设备中SF6气体湿度测量试验、检漏试验以及密度继电器和压力表校验试验， 每月至少应记录一次SF6气体绝缘电力设备的密度继电器指示范围和压力表的读数。
（4）六氟化硫水分的控制数值是环境温度为20℃的测定值。严禁在零度以下的环境温度条件下测试，在其它测试温度下测得的数值，应按适当的方法进行校正。
设备解体时的六氟化硫气体监督：
（1）设备解体大修前，应按IEC480《电气设备中六氟化硫气体检测导则》和DL/T596《电气设备预防性试验规程》的要求进行气体检验，设备内的气体不得直接向大气排放。
（2）使用过的六氟化硫气体要通过气体回收装置全部回收，回收的气体应装入有明显标记的容器内准备处理。
（3）设备解体大修前的气体检验，必要时可有关检测单位复核检测并与基层单位共同商定检测的特殊项目及要求。
（4）六氟化硫电气设备补气时，如遇不同产地、不同生产厂家的六氟化硫气体需混用时，应参照DL/T 596《电力设备预防性试验规程》中有关混合气的规定执行。