六氟化硫气体虽然是一种常温下性质比较稳定的物质，但是在高温电弧的作用下SF6气体变回分解成为多种含氟化合物，电弧、电火花和电晕放电的作用下，可导致SF6气体发生复杂的分解，生成各种有毒气体，主要有SF4，SOF2，SO2F2，SOF4，SO2，CO2，H2S，HF和CF4等。这些分解物大部分对人体有害，同时也会危害环境，处理好这些六氟化硫分解物就非常重要！
前不久广西电科院完成了广西第一个六氟化硫固体分解物分析检测实验室的建设，标志着广西电网六氟化硫电气设备故障诊断技术步入了一个新台阶。据介绍六氟化硫固体分解物检测实验室是该院SF6重点实验室建设的一个重要内容，主要由电感耦合等离子体质谱分析系统（ICP-MS）及相关支撑设备构成，该系统通过ICP的高温（7000K）电离特性与四级杆质谱仪的灵敏快速扫描优点相结合的新型元素和同位素分析技术，可以分析检测六氟化硫固体分解物的元素组成，从而快速诊断六氟化硫电气设备内部故障发生的部位。
SF6电气设备的内部故障是一个复杂的物理化学过程，分解气体的种类多、含量小、稳定性差，其种类和含量不但与故障能量大小有直接关系，还与故障的部位及材料类型、气体湿度、杂质，故障后吸附剂的吸收时间等有密切关系。对设备故障应进行综合分析，除使用六氟化硫固体分解物分析检测其分解产物，因辅助以对GIS局部放电在线检测，结合超声手段进行局放定位等技术手段，同时利用新技术如新型氦离子化气相色谱分析方法来全面、高精度分析SF6气体分解产物，这样才能提高故障诊断的准确性。
在处理SF6固体分解物时，除了使用合理的检测手段去分析发生故障的部位之外，还应做好方法措施。以六氟化硫气体作为绝缘和灭弧的电器设备,在下列四种情况下必须对其内的六氟化硫(SF6)气体及分解物进行回收或中和处理。
（ 1 ）在新产品开发时,做过绝缘试验和开断试验的试品；
（ 2 ）检修进行过的电器设备；
（ 3 ）处理发生故障的电器设备；
（ 4 ）淘汰、更换掉的电器设备。
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