四氯化硅精制技术 四氯化硅还原制取多晶硅少不了原料精制这一关键环节。 精制提纯方法主要有:精馏法、吸附法、部分水解法、络合法。根据原料的组成,可以单独使用,也可组合使用。更多信息请点击
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