六氟化硫电气设备中的气体监测如果六氟化硫电气设备本身是合格的，那么，运行的安全可靠性，在很大程度上将取决于安装和调试质量，以及怎样对六氟化硫绝缘性能进行合理的监督检查。六氟化硫气体到货后通过质量检验可以保证货源质量水分含量不超过规定标准。但灌气后，如果设备组装条件不够完善，则机器壁上附著的水分，设备的固体绝缘及浇注物中间的水分，以及由于密封效果、填料不同透过的水分，经过一段时间运行后，它们可能释放出来，使得六氟化硫设备的含水量出现变化。因此，针对实际情况，必须对六氟化硫设备中气体的质量进行监测。检验周期时间是：灌装后至投运前的一次总体检验，重点检验空气、水分和杂质含量；运行后以三个月为周期的含水量检验，一般应连续进行三次周期性检验；经过检验证明，六氟化硫气体无变化，运行已经稳定之后，则应转为以年为周期的含水量检测。当检验出气体成分有明显变化时，往往是质量和运行问题的反应，应按规定进行报告，必要时请专家诊断、鉴定或进行有关质量复核。
六氟化硫设备的通风装置要求为了防止正常或异常情况下泄漏的六氟化硫气体对电气工作人员的损害，要求：六氟化硫配电装置室应有强力通风装置，所装设的通风装置应有足够大的抽取力量，能达到强力换气效果；六氟化硫气体比重大，因此，通风装置的风口全部设置在各室贴近地面处，以使得六氟化硫气体及其分解气体得到快速排出。